操作方法
要应用于实验、科研 、医学及小规模的生产领域。特点：成本低，整机机械、电气结构简单、实用，易维护。控制 方式：手动或者自动控制模式，利用各简单元器件的巧妙 组合成自动控制体系，各参数调整好后，一键完成整个清洗工艺。◎电源功率、清洗时间、气体流量、净化真空度等参数可设置。◎射频电源（核心器件采用美国进口）◎气体质量流量计采用美国进口，由模拟量输入输出，量程为0-200sccm可在量程范围内无级调节、针阀等控制工艺气体流量。◎清洗完成有提示音◎反射功率过大报警◎工艺气体耗尽报警◎泵热过载报警◎反应仓泄露报警◎电极采用高通量等离子结构，牢固可靠易拆卸。◎反应仓为矩形不锈钢腔体，水平电极放置，间距可调。◎真空泵采用双腔式旋片泵，极限真空度可达2Pa以下，一般采用外置。◎真空泵可选配液位低报警装置 等离子体是的作用： 等离子体是的作用： 应用于半导体、 微电子、 COG前、 LED制程、 器件封装前、 真空电子、 连接器和继电器等行业的 精密清洗，塑料、橡胶、金属和陶瓷等表面的活化以及生命科学实验等。 该设备等离子体频率13.56MHz；射频电源功率0～600W可调。产品使用环境条件为洁净厂房和要求干燥的地方，